工厂薄膜热敏电阻阵列的制作方法
1. 工场薄膜热敏电阻阵列的制造办法，其特色正在于，囊括下面方法：
方法一：荡涤硅钢片，去除名义原生氧化层、无机物净化，而后枯燥；
方法二：正在硅钢片名义堆积一层捐躯层；
方法三：采纳屡次涂布的办法，旋涂PI 预聚体，采纳楼梯升压法热固化构成PI 地膜；
方法四：旋涂光刻胶，并对于其停止光刻、冲洗，使热敏电阻阵列及其电联接全体的图形
界说正在光刻胶图形层；所述电联接全体囊括导线和焊盘；
方法五：正在光刻胶图形层上溅射所需的非金属热敏地膜层；
方法六：去除光刻胶图形层，同声剥离掉光刻胶图形层上摩擦的非金属热敏地膜，使需求
的热敏地膜层图形保存上去，而后枯燥；
方法七：旋涂光刻胶，对于其停止光刻、冲洗，使电联接层的图形界说正在光刻胶图形层；
方法八：采纳镀银的办法，堆积一层电联接层，因为光刻胶图形层的遮蔽，只要电联接
全体堆积出非金属电联接层，热敏电阻全体被光刻胶图形层掩护兴起；
方法九：将光刻胶图形层去除，以后对于热敏电阻停止热解决，消弭地膜堆积时发生的应
力；
方法十：将焊盘全体掩护后，放入聚对于二甲苯(parylene) 的堆积室，堆积一层聚对于二
甲苯掩护层，堆积终了后裸显露焊盘；
方法十一：划片后用对于应的捐躯层刻蚀液去除捐躯层，开释PI 地膜，失去柔性热敏薄
膜电阻阵列。
2. 一种如义务请求1 所述的柔性热敏地膜电阻阵列的制造办法，其特色正在于，所述的方法五脏的非金属热敏地膜层资料为镍或者铂。
3. 一种如义务请求1 所述的柔性热敏地膜电阻阵列的制造办法，其特色正在于，所述的方法八中的电联接非金属层资料为铜。全威高科技
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